[发明专利]长形条及晶圆有效

专利信息
申请号: 201010201043.8 申请日: 2010-06-03
公开(公告)号: CN102270457A 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 梁响华;李济波;尹辉;金则清 申请(专利权)人: 新科实业有限公司
主分类号: G11B5/127 分类号: G11B5/127;H01L23/00
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 中国香港新界沙田香*** 国省代码: 中国香港;81
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摘要: 发明公开了一种长形条,包括多个排列的磁头形成区以及分别形成在每两个相邻的所述磁头形成区之间的磁头切割区,所述磁头形成区沿着所述磁头切割区最终被切割成单个磁头,每一所述磁头具有内嵌的极尖以及形成在面向磁盘的空气承载面上的空气承载面图案,其中,至少一个所述磁头切割区上设有一带直线段的规则测量图案,以用作测量所述极尖与所述空气承载面图案位置的参照系。本发明的长形条能提高测量精度、降低测量误差,从而改善磁头性能。
搜索关键词: 长形条
【主权项】:
一种长形条,包括多个排列的磁头形成区以及分别形成在每两个相邻的所述磁头形成区之间的磁头切割区,所述磁头形成区沿着所述磁头切割区最终被切割成单个磁头,每一所述磁头具有内嵌的极尖以及形成在面向磁盘的空气承载面上的空气承载面图案,其特征在于:至少一个所述磁头切割区上设有一带直线段的规则测量图案,以用作测量所述极尖与所述空气承载面图案位置的参照系。
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