[发明专利]盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010206559.1 | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101921259A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;杉原昌子;岛田雅彦 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07D327/06 | 分类号： | C07D327/06;C07C381/12;C07C309/17;C07C303/32;G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 涂勇 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物。一种盐，其具有如式(I)所示的基团：-T(I)，其中T代表C3-C36脂环烃基，其中至少两个亚甲基被-O-或-S-替代，并且该脂环烃基可以具有一个以上取代基。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种具有如式(I)所示的基团的盐： T (I)其中T代表C3 C36脂环烃基，其中至少两个亚甲基被 O 或 S 替代，所述C3 C6脂环烃基可以有一个以上的取代基；
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