[发明专利]光路切换开关以及光路由器

摘要

本发明提供了光路切换开关以及光路由器，所述光路切换开关包括：一个输入光路、两个输出光路和光路转换元件，所述光路转换元件将光束选择性地从输入光路路由至其中一个输出光路，具体包括：半导体衬底及其表面的层间介质层；位于层间介质层内的空腔，空腔的一端连接输入光路，另一端由隔离层间隔成上空腔以及下空腔，所述上空腔以及下空腔分别连接两个输出光路；位于空腔内的弹性导光片，所述弹性导光片为反光材料，包括连接于所述隔离层的固定端以及朝向输入光路悬置于空腔内的自由端；自由端受到施加于空腔内的力场影响可以在空腔顶部至底部间移动。本发明所述光路切换开关结构简单，易于CMOS控制电路集成，制造成本低廉，控制方便。

主权项

一种光路切换开关，包括一个输入光路、两个输出光路和光路转换元件，所述光路转换元件将光束选择性地从输入光路路由至其中一个输出光路，其特征在于，所述光路转换元件包括：半导体衬底及其表面的层间介质层；位于层间介质层内的空腔，所述空腔的一端连接输入光路，另一端由隔离层间隔成上空腔以及下空腔，所述上空腔以及下空腔分别连接两个输出光路；位于所述空腔内的弹性导光片，所述弹性导光片采用反光材料，包括连接于所述隔离层的固定端以及朝向输入光路悬置于空腔内的自由端；所述自由端在受到施加于空腔内的力场影响时，在空腔顶部至空腔底部间移动。