[发明专利]硬质涂层及其制备方法及具有该涂层的被覆件有效
| 申请号： | 201010208780.0 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102296271A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;彭立全 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硬质涂层，形成于硬质基体表面上，该硬质涂层主要由钛-硅-氮三组元构成，该硬质涂层中钛原子的含量由靠近该基体至远离该基体的方向呈梯度减少，硅原子的含量由靠近基体至远离基体的方向呈梯度增加。本发明还提供一种上述硬质涂层的制备方法及具有该硬质涂层的被覆件。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 涂层 及其 制备 方法 具有 被覆 | ||
【主权项】：
一种硬质涂层，形成于硬质基体表面上，该硬质涂层主要由钛‑硅‑氮三组元构成，其特征在于：该硬质涂层中钛原子的个数含量由靠近该基体至远离该基体的方向呈梯度减少，硅原子的个数含量由靠近基体至远离基体的方向呈梯度增加。
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