[发明专利]一种调焦调平检测装置及方法有效
| 申请号： | 201010209992.0 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN102298278A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 田湍;陈飞彪;李志丹;潘炼东;魏礼俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种调焦调平检测装置及方法，该装置具有：倾斜入射检测光学系统，振动反射镜光学系统，数字光电探测装置，调焦调平测量装置控制器，运动台控制器。该装置利用离焦高度引起的偏差通过振动反射镜调整后在数字光电探测装置上的检测光斑的位置偏差和时间段之间的量化关系测量离焦高度，从而实现调焦调平。该调焦调平检测方法采用了数字化检测方法，基本消除了模拟电路易受光、电磁和热等环境因素影响的弊端，显著增强了调焦调平检测系统的抗干扰性能，有利于调焦调平检测精度和测量稳定性的进一步提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种调焦调平检测装置，其特征在于，包括：倾斜入射检测光学系统，具有光源与照明装置、投影狭缝、第一平面反射镜和第二平面反射镜，从光源与照明装置出射的光经投影狭缝后由第一平面反射镜反射至衬底表面，衬底表面将光反射至第二平面反射镜；振动反射镜光学系统，具有振动反射镜和振动反射镜驱动器，振动反射驱动器驱动振动反射镜的反射表面绕其旋转轴作周期性简谐振动，从第二平面反射镜出射的光入射至振动反射镜上；数字光电探测装置，将从第二平面反射镜出射的照射到其感光表面上的检测光斑的光信号转变为数字信号输出；调焦调平测量装置控制器，接收数字光电探测装置的输出信号，计算并输出离焦高度。
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