[发明专利]一种薄膜的测漏装置及检测方法无效
申请号: | 201010210132.9 | 申请日: | 2010-06-25 |
公开(公告)号: | CN102297748A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 刘景开;张华民;高素军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所;大连融科储能技术发展有限公司 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种薄膜的测漏装置及其检测方法;侧漏装置包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。采用本发明可有效的提高对薄膜测漏的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 装置 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种薄膜的测漏装置,其特征在于:包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽上,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。
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