[发明专利]一种薄膜的测漏装置及检测方法无效

专利信息
申请号: 201010210132.9 申请日: 2010-06-25
公开(公告)号: CN102297748A 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 刘景开;张华民;高素军 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所;大连融科储能技术发展有限公司
主分类号: G01M3/26 分类号: G01M3/26
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰
地址: 116023 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及一种薄膜的测漏装置及其检测方法;侧漏装置包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。采用本发明可有效的提高对薄膜测漏的效率。
搜索关键词: 一种 薄膜 装置 检测 方法
【主权项】:
一种薄膜的测漏装置,其特征在于:包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽上,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。
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