[发明专利]一种单模式突出的双端对谐振式声表面波检测器有效
| 申请号： | 201010211433.3 | 申请日： | 2010-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN101865884A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 刘久玲;何世堂;李顺洲;刘明华;李红浪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;G01N29/34 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉;高宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单模式突出的双端对谐振式声表面波检测器，该检测器包括制作在压电晶片上3个叉指换能器和2个金属反射栅阵；其中，3个叉指换能器之间的间隔相等，且间隔是叉指换能器0.25波长的0-100倍；第一金属反射栅阵与其相邻第一叉指换能器之间的间隔，第二金属反射栅阵与其相邻第三叉指换能器之间的间隔相等，且间隔是叉指换能器0.25波长的1-10倍；3个叉指换能器的同步频率相等，叉指换能器的同步频率是金属反射栅阵同步频率的0.95-1.05倍，频率响应曲线中的两个纵向模式的能量幅度差距大于5dB。它是一种低插损(小于4dB)、高Q值(大于2000)、两模式之间幅度差距足够大(大于10dB)的声表面波检测器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模式 突出 谐振 表面波 检测器 | ||
【主权项】：
一种单模式突出的双端对谐振式声表面波检测器，包括制作在基片上的双端对谐振器；其特征在于：所述的双端对谐振器由3个叉指换能器和2个金属反射栅阵阵组成；所述的叉指换能器的同步频率是所述的金属反射栅阵同步频率的0.95-1.05倍，频率响应曲线中的两个纵向模式的能量幅度差距大于5dB；3个叉指换能器为第一叉指换能器、第二叉指换能器和第三叉指换能器，2个金属反射栅阵阵为第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵；其中，所述的第一叉指换能器、所述的第二叉指换能器和第三叉指换能器的同步频率是一样的；所述的第一叉指换能器、所述的第二叉指换能器和第三叉指换能器的金属化比相等，其中，金属化比为0.1-0.6；所述的第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵的金属化比相等，其中，金属化比为0.1-0.6；所述的第一叉指换能器、所述的第二叉指换能器与所述的第三叉指换能器之间的间隔相等，且间隔是叉指换能器0.25波长的0-100倍，其中，同步频率f与波长λ的关系为：v＝λ×f，式中v为材料中的声速；所述的第一金属反射栅阵与其相邻的第一叉指换能器之间的间隔，所述的第二金属反射栅阵与其相邻的第三叉指换能器之间的间隔相等，且间隔是叉指换能器0.25波长的1-10倍。
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