[发明专利]丙烯酸单体、聚合物和化学增幅型光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010211793.3 | 申请日： | 2010-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102030643A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 朴兰罗;金真湖;李昌洙;申大铉 | 申请（专利权）人： | 韩国锦湖石油化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/67 | 分类号： | C07C69/67;C08F220/18;C08F220/28;C08F222/14;C08F232/08;G03F7/004 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 曾旻辉;何冲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了丙烯酸单体、聚合物和化学增幅型光致抗蚀剂组合物，所述丙烯酸单体在其末端具有叔丁氧羰基(t-BOX group)。所述丙烯酸单体被用作制备组成所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物的所述聚合物的原材料。 | ||
| 搜索关键词： | 丙烯酸 单体 聚合物 化学 增幅 型光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种丙烯酸单体，其特征在于：该丙烯酸单体的末端具有叔丁氧羰基。
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