[发明专利]一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法

摘要

一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法，其作法是：a、前驱溶液制备；b、涂层胶体制备；c、涂敷与干燥；d、湿式分解热处理：将带薄膜的基片置于管式炉中，在氩气气氛保护下，以1-5℃/min的速度从室温升至100-150℃；然后向炉中通入露点为10-20℃的水汽、氩气的混合气，形成潮湿的氩气保护气氛，以0.25-1.5℃/min的速度升温至450-500℃，保温0.5-2小时；随后再在氩气气氛中，冷却至室温；e、成相热处理后即得。该法制备的高温超导涂层导体超导层的临界电流密度达到与含氟法制备的超导层的相同的数量级；超导层具有高度双轴织构、表面平整致密；该方法还易于制备较厚的超导层，其成本低廉、工艺简单，适用于大规模的工业化生产。

主权项

一种无氟化学溶液沉积制备高温超导涂层导体超导层的方法，其作法是：a、前驱溶液制备：将稀土乙酸盐、乙酸钡、乙酸铜按稀土∶钡∶铜的化学计量比1∶2∶3的比例溶解于丙酸中，得前驱溶液；b、涂层胶体制备：在前驱溶液中，加入聚乙烯醇缩丁醛，充分搅拌，得涂层胶体；c、涂敷与干燥：将涂层胶体涂敷于基片上，加热干燥，得到带薄膜的基片；d、湿式分解热处理：将带薄膜的基片置于管式炉中，在氩气气氛保护下，以1-5℃/min的速度从室温升至100-150℃；然后向炉中通入露点为10-20℃的水汽、氩气的混合气，形成潮湿的氩气保护气氛，以0.25-1.5℃/min的速度升温至450-500℃，保温0.5-2小时；随后再在氩气气氛中，自然冷却至室温；e、成相热处理：湿式分解热处理后，再向管式炉中通入氩气，以15-40℃/min的速度将炉温快速升温至800-900℃，保温5-15分钟；再以1-15℃/min降温至750-780℃，保温1-3小时；然后在氩气保护气氛中，降温至350-500℃；最后向炉中通入氧气，保温1-5小时，然后冷却至室温，即在基体上制得稀土钡铜氧(REBa2Cu3O7-x)超导层。