[发明专利]一种硅片切割废砂浆的回收方法有效
申请号: | 201010214534.6 | 申请日: | 2010-06-26 |
公开(公告)号: | CN102295285A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 陈帆;王忠利;林宏业 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | C01B31/36 | 分类号: | C01B31/36;C01B33/021;C08G65/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种硅片切割废砂浆的回收方法,包括以下步骤:a.硅片切割废砂浆固液分离,得到固体砂料和液体份;b.步骤a中得到的液体份中加入脱色剂、离子吸附剂和助滤剂,固液分离,得到聚乙二醇切割回收液;c.步骤a中得到的固体砂料通过磁选分离去除金属,得到硅与碳化硅的混合物;d.将步骤c中得到的硅与碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加热;冷却至室温后筛网过滤,收集筛下的物质得到碳化硅微粉,收集筛上的物质得到硅块;粉碎硅块得到硅粉。本发明提供的回收方法非常环保,且对硅和碳化硅的分离较彻底,回收到的聚乙二醇、碳化硅和硅粉的纯度较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割 砂浆 回收 方法 | ||
【主权项】:
一种硅片切割废砂浆的回收方法,包括以下步骤:a.硅片切割废砂浆固液分离,得到固体砂料和液体份;b.步骤a中得到的液体份中加入脱色剂、离子吸附剂和助滤剂,固液分离,得到聚乙二醇切割回收液;c.步骤a中得到的固体砂料通过磁选分离去除金属,得到硅与碳化硅的混合物;d.将步骤c中得到的硅与碳化硅的混合物在1425‑1550℃下真空加热;冷却至室温后筛网振动过滤,收集筛下的物质得到碳化硅微粉,收集筛上的物质得到硅块;粉碎硅块得到硅粉。
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