[发明专利]紫外激光应用光学系统有效
| 申请号： | 201010215625.1 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102310264A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李家英;周朝明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;G02B27/09;G02B27/10;G02B27/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于激光加工领域，提供了一种紫外激光应用光学系统，所述紫外激光应用光学系统由激光加工子系统和与所述激光加工子系统同轴的监控子系统构成，所述激光加工子系统具有一由沿光线入射方向依次设置的双凹型透镜和弯月型透镜构成的扩束镜以及一由沿光线入射方向依次设置的弯月型透镜、双凸型透镜、弯月型透镜和弯月型透镜构成的聚焦镜，所述扩束镜与聚焦镜之间设有第一双色镜，波长为355nm的紫外激光先后经所述扩束镜和聚焦镜聚焦于工件时，所述扩束镜的扩束倍数为六倍，所述聚焦镜的焦距为20mm。本发明通过监控子系统对工件的加工情况进行实时监控，以提高加工精度，实现超精细加工，尤可应用于LCD修复。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 应用 光学系统 | ||
【主权项】：
一种紫外激光应用光学系统，包括：激光加工子系统和与所述激光加工子系统同轴的监控子系统，其特征在于，所述激光加工子系统具有一由沿光线入射方向依次设置的第一透镜和第二透镜构成的扩束镜以及一由沿光线入射方向依次设置的第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜构成的聚焦镜，所述扩束镜与聚焦镜之间设有第一双色镜；所述第一透镜为双凹型透镜，所述第二透镜和第三透镜均为曲面向着光线入射方向弯曲的弯月型透镜，所述第四透镜为双凸型透镜，所述第五透镜和第六透镜均为曲面背着光线入射方向弯曲的弯月型透镜；波长为355nm的紫外激光先后经所述扩束镜和聚焦镜聚焦于工件时，所述扩束镜的扩束倍数为六倍，所述聚焦镜的焦距为20mm。
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