[发明专利]利用加热对磁阻结构提供势垒的方法和系统有效
申请号: | 201010216900.1 | 申请日: | 2010-06-24 |
公开(公告)号: | CN101937685A | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | C·帕克;Q·伦;M·帕卡拉 | 申请(专利权)人: | 西部数据(弗里蒙特)公司 |
主分类号: | G11B5/39 | 分类号: | G11B5/39 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明描述了一种提供磁记录换能器的方法和系统。该方法和系统包括为磁性元件提供被钉扎层。一方面,提供了磁性元件的隧道势垒层的一部分。在提供该部分隧道势垒层后退火磁记录换能器。退火温度高于室温。在退火后提供隧道势垒层的剩余部分。另一方面,在退火磁换能器之前,磁换能器被转移至高真空退火装置。在该方面,可以在提供隧道势垒的任意部分之前或在提供隧道势垒的至少一部分之后退火磁换能器。退火在高真空退火装置中执行。还提供了磁性元件的自由层。 | ||
搜索关键词: | 利用 加热 磁阻 结构 提供 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种提供磁记录换能器的方法,包含:提供磁性元件的被钉扎层;为所述磁性元件提供隧道势垒层的一部分;在提供所述隧道势垒层的所述部分后,以高于室温的温度退火所述磁记录换能器;提供所述隧道势垒层的剩余部分,所述剩余部分在退火所述磁记录换能器后提供;以及为所述磁阻元件提供自由层。
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