[发明专利]增益单元eDRAM单元、存储器及其制备方法有效
申请号: | 201010217173.0 | 申请日: | 2010-07-05 |
公开(公告)号: | CN101853697A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 林殷茵;李慧 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G11C11/4063 | 分类号: | G11C11/4063;G11C11/401;H01L21/8242 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于动态随机存储器(DRAM)技术领域,具体为一种增益单元eDRAM单元、存储器及其制备方法。该增益单元eDRAM单元包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线以及等效寄生电容,所述写MOS晶体管的漏端与读MOS晶体管的栅极电连接,写MOS晶体管的漏端的深度大于写MOS晶体管的源端的深度,设置写MOS晶体管的漏端掺杂浓度分布以减小漏端的PN结的漏电流。该增益单元eDRAM具有数据保持时间长的特点,由该增益单元eDRAM单元组成的存储器的刷新频率低、功耗小。 | ||
搜索关键词: | 增益 单元 edram 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种增益单元eDRAM单元,包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线以及等效寄生电容,所述写MOS晶体管的漏端与读MOS晶体管的栅极电连接,其特征在于,所述写MOS晶体管的漏端的深度大于所述写MOS晶体管的源端的深度,设置所述写MOS晶体管的漏端掺杂浓度分布以减小漏端的PN结的漏电流。
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