[发明专利]一种太阳能电池结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池结构及其制备方法，涉及太阳能技术领域，为优化表面减反射钝化层的光学性能和钝化性能，提高电池的光电转换效率而发明。所述太阳能电池结构，包括电池基片，所述电池基片的迎光面上设置有包括m(m为整数且m≥3)层膜结构的SiNx减发射钝化层；第一层膜结构设置在所述电池基片上，第二层膜结构设置在所述第一层膜结构上...第m层膜结构设置在第m-1层膜结构上；所述第一层膜结构的折射率大于所述第二层膜结构...所述第m层膜结构的折射率大于所述第m-1层膜结构。本发明可用于晶硅太阳能电池工艺中。

主权项

一种太阳能电池结构，包括电池基片，所述电池基片的迎光面上设置有SiNx减发射钝化层，其特征在于，所述SiNx减反射钝化层包括m(m为整数且m≥3)层SiNx膜结构；其中，第一层膜结构设置在所述电池基片上，第二层膜结构设置在所述第一层膜结构上...第m层膜结构设置在第m‑1层膜结构上；所述第二层膜结构的折射率小于所述第一层膜结构的折射率...所述第m层膜结构的折射率小于所述第m‑1层膜结构的折射率。