[发明专利]激光直线度/同轴度测量装置有效
| 申请号： | 201010218507.6 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101915560A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 蒋弘;吴健 | 申请（专利权）人： | 北京市普锐科创科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 100085 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光直线度/同轴度测量装置，包括在测量光路上依次设置的第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜和平移反射镜，第二渥拉斯顿棱镜和第一渥拉斯顿棱镜依次位于从平移反射镜反射后返回光的光路上；平移反射镜为在相互垂直的两个方向上均具有光路漂移自适应功能的平面镜结构，当入射光沿平移反射镜的特征方向入射时，平移反射镜反射后返回光与入射光方向相反、相互平行且返回光与入射光之间距离恒定。本发明使得水平方向和垂直方向直线度测量时的基准不变，这样就大大简化了调节过程，缩减了调节时间，提高了调节效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直线 同轴 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种激光直线度/同轴度测量装置，包括在测量光路上依次设置的第一渥拉斯顿棱镜和第二渥拉斯顿棱镜，其特征在于，在测量光路上所述第二渥拉斯顿棱镜之后设置有平移反射镜，所述第二渥拉斯顿棱镜和第一渥拉斯顿棱镜依次位于从平移反射镜反射后返回光的光路上；所述平移反射镜为在相互垂直的两个方向上均具有光路漂移自适应功能的平面镜结构，当入射光沿平移反射镜的特征方向入射时，平移反射镜反射后返回光与入射光方向相反、相互平行且返回光与入射光之间距离恒定。
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