[发明专利]一种激光干涉仪光路对准装置及方法

摘要

一种激光干涉仪光路对准装置及方法，激光器发出的激光经反射镜调整机构调整后入射至激光干涉仪，其中的偏振分光镜将激光分成参考光和测量光，参考光经参考反射镜反射而测量光经测量反射镜反射后再次进入偏振分光镜，并由偏振分光镜反射至光纤接收头，其中的分光镜将入射光分成两部分，其中的大部分光经由光纤接收头中的压缩透镜组件压缩并传输至接收器，另一部分光被投影至光斑观测装置，用于观测参考光斑和测量光斑的重合度。

主权项

一种激光干涉仪光路对准装置，包括：激光器，用于发出对准用激光；反射镜调整机构，使上述激光入射至激光干涉仪；激光干涉仪，其中的偏振分光镜将从反射镜调整机构出射的激光分成参考光和测量光，经参考反射镜反射后的参考光和经测量反射镜反射后的测量光分别第二次进入偏振分光镜，并由偏振分光镜反射后汇合成第一光束；光纤接收头，接收上述第一光束，并将上述第一光束分成至少两束光，上述至少两束光为第二光束和第三光束；光斑观测装置，接收从光纤接收头出射的上述第二光束，并观测参考光斑和测量光斑的重合度。