[发明专利]一种提高电动缸运行精度的方法、装置及电动缸有效
| 申请号： | 201010220962.X | 申请日： | 2010-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102298394A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;H02K7/10;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高电动缸运行精度的方法，其首先通过测量而得到电动缸中的齿隙测量值，并基于齿隙测量值和齿隙设定值而获得电动缸的齿隙偏差；然后在电动缸运行过程中，当电动缸变换运行方向时根据齿隙偏差实施齿隙偏差补偿，以提高电动缸的运行精度。本发明还提供一种提高电动缸运行精度的装置，包括用于测量电动缸齿隙偏差的齿隙测量模块和在电动缸运行时根据其运行方向对其进行齿隙偏差补偿的控制模块。此外，本发明还提供一种应用上述方法/装置的电动缸。上述方法、装置及电动缸均能有效降低甚至消除电动缸传动机构中的齿隙偏差对电动缸运行精度的影响，并且电动缸的运行精度不受其外壳加工精度及滑块运行速度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 电动 运行 精度 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种提高电动缸运行精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：10)通过测量而得到所述电动缸的齿隙的测量值，并基于所述齿隙测量值和齿隙设定值而获得所述电动缸的齿隙偏差；20)在所述电动缸运行过程中，当电动缸变换运行方向时，根据所述齿隙偏差实施齿隙偏差补偿，以提高电动缸的运行精度。
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