[发明专利]气体分配器和包括气体分配器的设备有效
| 申请号： | 201010221356.X | 申请日： | 2005-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101888736A | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 康豪哲 | 申请（专利权）人： | 周星工程股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于一等离子设备的气体分配器，其包括：一具有复数个注入孔的机体，所述机体相对于一中心表面被划分成一下部部分和一上部部分；和一连接到所述下部部分的机体支撑单元，其中所述中心部分是从所述机体的质量中心水平地延伸出的，其中所述机体支撑单元连接至所述机体的位于所述中心部分以下的所述下部部分。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分配器 包括 设备 | ||
【主权项】：
一种用于一等离子设备的气体分配器，其包含：一具有复数个注入孔的机体，所述机体相对于一中心部分被划分成一下部部分和一上部部分；和一连接到所述下部部分的机体支撑单元；其中所述中心部分是从所述机体的质量中心水平地延伸出的，其中所述机体支撑单元连接至所述机体的位于所述中心部分以下的所述下部部分。
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