[发明专利]一种具有多个共面电极一体结构的MEMS加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种电容式MEMS加速度传感器、该加速度传感器的制作方法以及由该加速度传感器组成的加速度传感器组件。该电容式MEMS加速度传感器包括：具有一个上部和一个下部的扭矩弹簧-质量块支撑结构、键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构上部的上部电极盖板和键合在所述扭矩弹簧-质量块支撑结构下部的下部电极盖板，所述扭矩弹簧-质量块支撑结构包括支撑框架、一对扭矩臂和平板型质量块，所述扭矩臂包括连接到所述支撑框架的主干和与所述主干相连接的两个分支臂。该加速度传感器耐受冲击震动，低成本、高性能，易于生产，用途广泛。

主权项

一种电容式MEMS加速度传感器，包括：(a)扭矩弹簧‑质量块支撑结构，其具有一个上部和一个下部，(b)键合在所述扭矩弹簧‑质量块支撑结构上部的上部电极盖板，(c)键合在所述扭矩弹簧‑质量块支撑结构下部的下部电极盖板，其中所述扭矩弹簧‑质量块支撑结构包括支撑框架、一对扭矩臂和平板型质量块，所述支撑框架通过所述扭矩臂与所述平板型质量块相连接，所述平板型质量块具有质量中心，所述扭矩臂包括连接到所述支撑框架的主干和与所述主干相连接的两个分支臂，所述两个分支臂向所述主干的两侧延伸并连接到所述平板型质量块，以致所述平板型质量块由所述两个分支臂支撑，所述主干位于所述质量中心的正上部，所述主干作为所述平板型质量块的扭矩轴，使得所述平板型质量块通过所述扭矩臂发生转动位移，所述平板型质量块具有容置每个所述扭矩臂的切割空缺区域，所述扭矩臂位于所述切割空缺区域内。