[发明专利]基于光束三角的倾斜自适应位移测量方法

摘要

一种基于光束三角的倾斜自适应位移测量方法，涉及精密检测技术领域，所解决的是提高测量精度的技术问题。该方法先将测量光斑像与基准光斑像进行比较，计算出被测物体的位移误差曲线函数；再根据测量光斑像在光接收器件上的位置，计算出被测物体的位移信息；然后根据被测物体的位移误差曲线函数，对被测物体的位移信息进行补偿，得出被测物体的最终位移测量结果。本发明提供的方法，能够对被测物体表面的各种物面倾斜所引起的测量误差进行自适应的误差补偿，能提高测量精度。

主权项

一种基于光束三角的倾斜自适应位移测量方法，包括由光发射器件、光学镜组和光接收器件组成的基于光束三角的位移测量装置，其特征在于，具体步骤如下：A)用光发射器件向平面发射光束，用光学镜组将平面反射的光束聚焦成光斑像，并用光接收器件接收该光斑像，将其标记为基准光斑像；B)用光发射器件向被测物体表面发射光束，用光学镜组将被测物体表面反射的光束聚焦成光斑像，并用光接收器件接收该光斑像，将其标记为测量光斑像；C)将测量光斑像与基准光斑像进行比较，计算出被测物体的位移误差曲线函数；D)根据测量光斑像在光接收器件上的位置，计算出被测物体的位移信息；E)根据步骤C计算出的被测物体的位移误差曲线函数，对步骤D计算出的被测物体的位移信息进行补偿，得出被测物体的最终位移测量结果。