[发明专利]一种磁辊表面粗糙度的无损测量装置

摘要

本发明提供一种磁辊表面粗糙度的无损测量装置，该装置包括由激光器、透镜、起偏器、偏振分束器、平面反射镜、1/2波片、分束器、1/4波片、聚焦物镜组成的光学部分、由光功率计、微机及显示界面组成的光探测部分及由支架和转动装置组成的机械部分。本发明采用两光束共光路、同心聚焦扫描可实现表面粗糙度的绝对测量，使用一个1/2波片改变一路光束的偏振态，避免了传统测量系统中光路具有可逆性的问题，保证了系统的稳定性，使用一个1/4波片使接收端的光束偏振态方向一致，使干涉信号可见度最大。该系统光路结构简单，且测量精度高。

主权项

一种磁辊表面粗糙度的无损测量装置，该测量装置由光学部分和两个光功率计组成，其特征在于：其光学部分由激光器、起偏器、上偏振分束器、下偏振分束器、上反射镜、下反射镜、1/2波片、半反半透镜、1/4波片组成，其中，激光器、起偏器、上偏振分束器、下反射镜依次在同一直线上，起偏器、上偏振分束器和下反射镜的中心对准激光光源发射处，激光器、起偏器、上偏振分束器相互平行，与下反射镜在水平方向上呈45度夹角，上偏振分束器右侧平行放置有上反射镜，上反射镜平行于下反射镜，上反射镜、1/2波片、半反半透镜、偏振分束器、1/4波片中心依次在同一直线上，半反半透镜平行于上反射镜，1/2波片、偏振分束器和1/4波片均平行于起偏器；1/4波片下方平行放置待测工件，两个光功率计分别位于半反半透镜和下偏振分束器右侧。