[发明专利]具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器及其制作方法有效
| 申请号： | 201010223502.2 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102313985A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 周敬然;张海英 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器，该衰减器包括两对单模光纤(1)、光纤定位结构(2)、具有跷跷板结构的可动上电极(3)和固定下电极(4)，其中光纤定位结构(2)是在硅片上腐蚀出的V型槽自对准结构，可动上电极(3)包括微镜(31、31′)和跷跷板式悬臂(32)，其中微镜(31、31′)分别位于所述悬臂(32)两端，固定下电极(4)包括硅片上腐蚀出来的凹槽(41)和蒸镀在凹槽上的金属电极(42、42′)。本发明还公开了一种制作具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器的方法。本发明满足了两路集成，有效减小了器件体积，满足了当前光电子器件向集成化、小型化发展的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 跷跷板 结构 集成 可变 衰减器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具有跷跷板结构的两路集成可变光衰减器，其特征在于，该衰减器包括两对单模光纤(1)、光纤定位结构(2)、具有跷跷板结构的可动上电极(3)和固定下电极(4)，其中光纤定位结构(2)是在硅片上腐蚀出的V型槽自对准结构，可动上电极(3)包括微镜(31、31′)和跷跷板式悬臂(32)，其中微镜(31、31′)分别位于所述悬臂(32)两端，固定下电极(4)包括硅片上腐蚀出来的凹槽(41)和蒸镀在凹槽上的金属电极(42、42′)。
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