[发明专利]基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法无效
申请号: | 201010225540.1 | 申请日: | 2010-07-14 |
公开(公告)号: | CN101871772A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 吕志伟;王新;姜振华;刘晓妍 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 张宏威 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它涉及一种光斑轮廓的测量方法,它解决了目前无法对微光斑轮廓进行精确测量的问题。基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它基于一个光斑测量装置实现,光斑测量装置由二维移动架、探测器和数据采集单元组成;该方法根据探测器输出信号的强弱与入射光的强度成正比的原理,通过调整二维移动架,使入射光光斑从探测器的接收面内向外移出时,导致所述探测器输出信号的强弱发生变化,进而测量出入射光光斑的轮廓。本发明克服了已有技术的不足,可用于光束控制、光束诊断等领域。 | ||
搜索关键词: | 基于 轨迹 光斑 轮廓 测量方法 | ||
【主权项】:
基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,其特征在于它基于一个光斑测量装置实现,所述光斑测量装置由二维移动架(1)、探测器(2)和数据采集单元(3)组成,所述探测器(2)安装在二维移动架(1)上,探测器(2)的电信号输出端连接数据采集单元(3)的信号输入端;所述基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法的具体过程如下:步骤一、入射光入射到探测器(2)的接收面上,数据采集单元(3)实时监测并显示探测器(2)输出的信号强度;调整二维移动架(1),使得入射光完全照射到探测器(2)的接收面上,记录下此时的信号强度并作为最大信号强度保存;步骤二、在探测器(2)的接收面上建立X-Y坐标系,然后在X向调整二维移动架(1),使探测器(2)的接收面在X向缓慢移动,同时使入射光光斑从接收面内向外移出,当数据采集单元(3)显示的信号强度减小为最大信号强度的2%时,停止调整二维移动架(1),并记录下此时二维移动架(1)的位置;步骤三、在Y向调整二维移动架(1),使探测器(2)的接收面在Y向移动一个单位距离,然后再在X向调整二维移动架(1),当数据采集单元(3)显示的信号强度为最大信号强度的2%时,停止调整二维移动架(1),并记录下此时二维移动架(1)的位置;步骤四、判断此时探测器(2)的接收面是否已围绕入射光光斑运动一周:若不是,则返回执行步骤三;若是,则执行步骤五;步骤五、根据已记录的所有位置及探测器(2)的接收面的形状,计算获得入射光光斑的外轮廓的轨迹。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学,未经哈尔滨工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010225540.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。