[发明专利]基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法无效

专利信息
申请号: 201010225540.1 申请日: 2010-07-14
公开(公告)号: CN101871772A 公开(公告)日: 2010-10-27
发明(设计)人: 吕志伟;王新;姜振华;刘晓妍 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 张宏威
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它涉及一种光斑轮廓的测量方法,它解决了目前无法对微光斑轮廓进行精确测量的问题。基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它基于一个光斑测量装置实现,光斑测量装置由二维移动架、探测器和数据采集单元组成;该方法根据探测器输出信号的强弱与入射光的强度成正比的原理,通过调整二维移动架,使入射光光斑从探测器的接收面内向外移出时,导致所述探测器输出信号的强弱发生变化,进而测量出入射光光斑的轮廓。本发明克服了已有技术的不足,可用于光束控制、光束诊断等领域。
搜索关键词: 基于 轨迹 光斑 轮廓 测量方法
【主权项】:
基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,其特征在于它基于一个光斑测量装置实现,所述光斑测量装置由二维移动架(1)、探测器(2)和数据采集单元(3)组成,所述探测器(2)安装在二维移动架(1)上,探测器(2)的电信号输出端连接数据采集单元(3)的信号输入端;所述基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法的具体过程如下:步骤一、入射光入射到探测器(2)的接收面上,数据采集单元(3)实时监测并显示探测器(2)输出的信号强度;调整二维移动架(1),使得入射光完全照射到探测器(2)的接收面上,记录下此时的信号强度并作为最大信号强度保存;步骤二、在探测器(2)的接收面上建立X-Y坐标系,然后在X向调整二维移动架(1),使探测器(2)的接收面在X向缓慢移动,同时使入射光光斑从接收面内向外移出,当数据采集单元(3)显示的信号强度减小为最大信号强度的2%时,停止调整二维移动架(1),并记录下此时二维移动架(1)的位置;步骤三、在Y向调整二维移动架(1),使探测器(2)的接收面在Y向移动一个单位距离,然后再在X向调整二维移动架(1),当数据采集单元(3)显示的信号强度为最大信号强度的2%时,停止调整二维移动架(1),并记录下此时二维移动架(1)的位置;步骤四、判断此时探测器(2)的接收面是否已围绕入射光光斑运动一周:若不是,则返回执行步骤三;若是,则执行步骤五;步骤五、根据已记录的所有位置及探测器(2)的接收面的形状,计算获得入射光光斑的外轮廓的轨迹。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学,未经哈尔滨工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010225540.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top