[发明专利]固体摄像器件、固体摄像器件制造方法和电子装置

摘要

本发明公开了固体摄像器件、固体摄像器件制造方法和电子装置。所述固体摄像器件包括像素，所述像素包括埋入型光电二极管、埋入型浮动扩散部以及埋入型栅极电极，所述埋入型光电二极管形成在基板内部，所述埋入型浮动扩散部形成在所述基板中的与所述埋入型光电二极管的深度相等的深度处且面对着形成在所述基板中的沟槽部的底部，所述埋入型栅极电极形成在所述沟槽部的底部处以用于从所述埋入型光电二极管向所述埋入型浮动扩散部传输信号电荷。由于所述埋入型浮动扩散部形成在与所述埋入型光电二极管相等的深度处，因此信号电荷通过较短的传输路径而被传输。本发明能够在维持高饱和电荷量的同时进行信号电荷的良好传输，从而能够提高图像质量。

主权项

一种固体摄像器件，其包括像素，所述像素包括：埋入型光电二极管，它形成在基板内部；埋入型浮动扩散部，它形成在所述基板中的与所述埋入型光电二极管的深度相等的深度处，且面对着形成在所述基板中的沟槽部的底部；以及埋入型栅极电极，它形成在所述沟槽部的底部处，用于从所述埋入型光电二极管向所述埋入型浮动扩散部传输信号电荷。