[发明专利]一种铁电薄膜退极化时间的测量方法有效
| 申请号： | 201010231417.0 | 申请日： | 2010-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN101915878A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 郑分刚;方亮;董雯;沈明荣;曹大威 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R19/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铁电薄膜退极化时间的测量方法，其特征在于：包括下列步骤：(1)在铁电薄膜上分别设置上电极和下电极，构成金属/薄膜/金属电容器结构，将测量系统置于电磁屏蔽罩及暗室中；(2)在上述电容器结构上施加外加电场；(3)撤除外加电场，等待时间间隔T后，用光源从薄膜上方照射样品表面，采集记录光电流随时间的变化曲线；(4)从0开始逐渐增大时间间隔T，重复上述步骤(2)和(3)，分别记录在不同的时间间隔T下的光电流变化曲线，至光电流变化曲线中的峰值电流不再发生变化时停止；(5)光电流变化曲线中的峰值电流达到最小时的时间间隔T，即为该铁电薄膜的退极化时间。本发明的方法能测量铁电薄膜的退极化时间，解决了现有技术中不能表征退极化快慢的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 退极化 时间 测量方法 | ||
【主权项】：
一种铁电薄膜退极化时间的测量方法，其特征在于：包括下列步骤：(1)在铁电薄膜上分别设置上电极和下电极，构成金属/薄膜/金属电容器结构，将测量系统置于电磁屏蔽罩内，并放置于暗室中；(2)在上述电容器结构上施加外加电场，以极化薄膜；(3)撤除外加电场，等待时间间隔T后，用光源从薄膜上方照射样品表面，采集记录光电流随时间的变化曲线；(4)从0开始逐渐增大时间间隔T，重复上述步骤(2)和(3)，分别记录在不同的时间间隔T下的光电流变化曲线，至光电流变化曲线中的峰值电流不再发生变化时停止；(5)光电流变化曲线中的峰值电流达到最小时的时间间隔T，即为该铁电薄膜的退极化时间。
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