[发明专利]新型共聚物和含有该共聚物的光刻胶组合物

摘要

本发明提供了一种包含由式1至4表示的单体的新型共聚物，以及包含该共聚物的光刻胶组合物：[式1][式2][式3][式4]其中在式1至4中，R₁至R₁₀各自独立地代表选自卤素原子、羟基、羧基、腈基、醛基、环氧基、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基的任一种基团；a是0-10的整数；b是0-14的整数；l，m，n和o是整数，并满足以下关系：l+m+n+o＝1，0.01＜l/(l+m+n+o)＜0.4，0＜m/(l+m+n+o)＜0.6，0≤n/(l+m+n+o)＜0.6，并且0＜o/(l+m+n+o)＜0.4。所述共聚物迅速溶于普通溶剂，易溶于大部分溶剂。该共聚物根据引入其中的烯烃的量可制成具有理想分子量的树脂，因此可以不使用分子量控制剂来进行生产。

主权项

1.包含由下式1至4表示的单体的共聚物：[式1][式2][式3][式4]其中在式1至式4中，R₁至R₁₀各自独立地代表选自卤素原子、羟基、羧基、腈基、醛基、环氧基、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基的任一种基团；a是0-10的整数；b是0-14的整数；l、m、n和o是满足以下关系的整数：l+m+n+o＝1，0.01＜l/(l+m+n+o)＜0.4，0＜m/(l+m+n+o)＜0.6，0≤n/(l+m+n+o)＜0.6，并且0＜o/(l+m+n+o)＜0.4。