[发明专利]一种超纯硝酸的制备方法无效
| 申请号： | 201010232449.2 | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101870460A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 詹家荣;杨光;周励 | 申请（专利权）人： | 上海华谊微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/46 | 分类号： | C01B21/46 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 31114 | 代理人： | 费开逵 |
| 地址： | 200940*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超纯硝酸的制备方法。以工业硝酸为原料，经二苯骈-18-冠-6与固相载体复合膜组成的膜过滤器进行第一级过滤，滤液经二级串联连续化精馏，分别收集重质废酸和轻质废酸，再用膜过滤器进行第二级过滤，即得到目标产物超纯硝酸。经分析检测，金属离子杂质的含量均低于1ppb，大于0.5μm的尘埃颗粒低于5个/毫升，符合SEMI C8标准。本发明采用二苯骈-18-冠-6与固相载体复合膜组成的膜过滤器进行二级过滤，克服了现有方法中产品质量不稳定的难题，采用二级连续化精馏技术，有效地提高了超纯硝酸产品的纯度，用本发明方法获得的超纯硝酸产品质量稳定，纯度高，适于大规模连续化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硝酸 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超纯硝酸的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将70-71wt％工业级硝酸在室温、0.1-0.5MPa的条件下通过二苯骈-18-冠-6与固相载体复合膜组成的膜过滤器进行一级过滤，滤液在120-140℃条件下进行二级串联精馏，同时收集重质废酸和轻质废酸，再用膜过滤器进行二级过滤，最后收集目标产物超纯硝酸。
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