[发明专利]一种衬底侧出光窗口型垂直腔面发射激光器

摘要

本发明提供了一种衬底侧出光窗口型垂直腔面发射激光器，顺次连接的为衬底侧电极(1)、出光窗口增透膜(2)、衬底(3)、衬底侧分布布拉格反射镜(4)、有源增益区(5)、氧化限制层(6)；另一侧分布布拉格反射镜(7)，另一侧电极(8)。所述的衬底侧出光窗口型垂直腔面发射激光器，其特征还在于衬底侧分布布拉格反射镜(4)的周期对数比另一侧分布布拉格反射镜(7)的周期对数少2至15对，保证激光从衬底侧分布布拉格反射镜(4)及衬底侧出光窗口出射，它的电极(8)由焊料焊接到散热片上，之后用焊料焊接到热沉上，增强散热。该结构可应用于III-V族半导体材料，II-VI族半导体材料，还可应用在有机发光、激光材料。

主权项

一种衬底侧出光窗口型垂直腔面发射激光器，由顺次连接的均为衬底侧电极(1)、出光窗口增透膜(2)、衬底(3)、衬底侧分布布拉格反射镜(4)、有源增益区(5)、氧化限制层(6)；另一侧分布布拉格反射镜(7)，另一侧电极(8)。