[发明专利]盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010234016.0 | 申请日： | 2010-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101955453A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;杉原昌子;山下裕子 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C53/10;C07C61/135;C07C62/24;C07D333/76;C07C63/08;C07C63/36;C08F220/18;C08F220/38;C08F212/14;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 涂勇 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
一种如通式(I-Pb)所示的盐： |
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| 搜索关键词： | 包含 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种如通式(I-Pb)所示的盐：![]()
其中XPb表示单键或-O-；RPb表示单键、C1-C10二价脂肪烃基、C4-C36二价脂环烃基、或C6-C36二价芳香烃基，其中所述二价脂肪烃基和所述二价脂环烃基中的一个以上的亚甲基可被-O-或-CO-取代；YPb表示可聚合的基团；ZPb表示有机基团；XPc表示单键或C1-C4亚烷基；以及RPc表示可具有一个以上取代基的C1-C10脂肪烃基、可具有一个以上取代基的C4-C36脂环烃基、或可具有一个以上取代基的C6-C36芳香烃基，其中所述脂肪烃基和所述脂环烃基中的一个以上的亚甲基可被-O-或-CO-取代。
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