[发明专利]连续真空镀膜方法无效
申请号: | 201010234736.7 | 申请日: | 2010-07-23 |
公开(公告)号: | CN102337510A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;戴龙文;陈正士 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种连续真空镀膜方法。该方法包括如下步骤:提供一基体;将该基体装载于一连续真空镀膜机中,该连续真空镀膜机的镀膜室设有阴极电弧发射源;以阴极电弧镀的方式在该基体的表面沉积一镀膜层。 | ||
搜索关键词: | 连续 真空镀膜 方法 | ||
【主权项】:
一种连续真空镀膜方法,其包括如下步骤:提供一基体;将该基体装载于一连续真空镀膜机中,该连续真空镀膜机的镀膜室设有阴极电弧发射源;以阴极电弧镀的方式在该基体的表面沉积一镀膜层。
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