[发明专利]制造硅晶铸锭的方法有效
申请号: | 201010235791.8 | 申请日: | 2010-07-14 |
公开(公告)号: | CN102337582A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 蓝崇文;蔡亚陆;许松林;谢兆坤;蓝文杰;徐文庆 | 申请(专利权)人: | 中美硅晶制品股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 许亦琳;余明伟 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种制造硅晶铸锭的方法。特别地,根据本发明的一较佳具体实施例的方法是在模的底部与硅晶种之间引入阻障层,由此,显著地降低模的底部对硅晶铸锭的污染。此外,切除根据本发明所制造的硅晶铸锭底部而得到与阻障层相邻的硅晶种层可以回收用来制造另一硅晶铸锭。 | ||
搜索关键词: | 制造 铸锭 方法 | ||
【主权项】:
一种制造硅晶铸锭的方法,包含下列步骤:提供一模,所述模适用于经定向凝固法熔化及冷却硅原料;装一阻障层至所述模内;装至少一硅晶种至所述模内并放置在所述阻障层上;装所述硅原料至所述模内并放置在所述至少一硅晶种上;加热所述模直至所述硅原料的全部以及所述至少一硅晶种的一部份熔化以获得硅熔料;以及基于定向凝固法冷却所述模,藉此造成所述硅熔料凝固以形成所述硅晶铸锭。
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