[发明专利]化学机械研磨装置和方法无效
| 申请号： | 201010236785.4 | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN102335869A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 葛军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 谢安昆;宋志强 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨装置，该装置包括研磨头和研磨液输出器，研磨输出器与研磨头在水平方向上间隔一定的距离，所述研磨液输出器为弧形，所述弧形与所述研磨头的部分外圆周形状匹配，在研磨液输出器上沿弧形方向上均匀分布至少2个研磨液输出头。同时，本发明还公开了一种化学机械研磨方法，采用该装置和方法能够提高化学机械研磨的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨装置，该装置包括研磨头和研磨液输出器，研磨输出器与研磨头在水平方向上间隔一定的距离，其特征在于，所述研磨液输出器为弧形，所述弧形与所述研磨头的部分外圆周形状匹配，在研磨液输出器上沿弧形方向上均匀分布至少2个研磨液输出头。
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