[发明专利]一种基于MEMS技术的压力开关

摘要

本发明涉及一种基于MEMS技术的压力开关。其包括底座及管帽；管帽上设有引压口；底座上设有凹槽，底座的另一端设有电缆孔；电缆孔内设有电缆；凹槽内设有转接组件，转接组件上设有敏感组件；转接组件包括支撑体，支撑体上设有下导流孔及导电柱；敏感组件包括固支体及硅片；硅片上设有金属层，硅片的下部凹设有弹性槽，弹性槽间形成凸台，凸台上设有上电极；固支体上设有导流孔；固支体两端的表面及上导流孔的内壁形成下电极；下电极及金属层分别通过内引线与支撑体上对应的导电柱电连接；导电柱分别与连接导线电连接。本发明结构简单，一致性好、成本低廉、结构简单、易于和后续电路集成在一起，进行信号调理、转换及网络化；适用范围广。

主权项

一种基于MEMS技术的压力开关，包括底座(3)及位于底座(3)上的管帽(7)；所述管帽(7)对应于与底座(3)相连的另一端设有引压口(9)；底座(3)对应于邻近管帽(7)的端部设有凹槽(27)，底座(3)的另一端设有电缆孔(29)，所述电缆孔(29)与凹槽(27)、引压口(9)均相连通；电缆孔(29)内设有电缆(6)；其特征是：所述凹槽(27)内设有转接组件(2)，所述转接组件(2)上设有敏感组件(1)；所述转接组件(2)包括支撑体(24)，所述支撑体(24)的中心区设有下导流孔(21)，支撑体(24)上设有导电柱(25)；所述敏感组件(1)包括固支体(17)及位于所述固支体(17)上的硅片(11)；所述硅片(11)对应于与固支体(17)相连的另一端表面设有金属层(12)，硅片(11)对应于邻近固支体(17)的端部凹设有弹性槽(19)，所述弹性槽(19)间形成凸台(20)，所述凸台(20)上设有上电极(14)；固支体(17)的中心区设有上导流孔(18)，上导流孔(18)与下导流孔(21)相连通；固支体(17)两端的表面及上导流孔(18)的内壁形成下电极(16)；所述下电极(16)及金属层(12)分别通过内引线(8)与支撑体(24)上对应的导电柱(25)电连接；导电柱(25)对应于与内引线(8)相连的另一端分别与电缆(6)内对应的连接导线(31)电连接。