[发明专利]SiC砂子检测方法无效
| 申请号： | 201010238175.8 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101975731A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 张华 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅晶切片所用辅料检测的领域，尤其是一种SiC砂子检测方法。将SiC砂子粒度划分为3个区域：小颗粒区域粒径范围为1～5.53um，可切割颗粒区域粒径范围为8.21～12.18um，大颗粒区域粒径范围为23.52～34um，规定小颗粒含量≤3.00％，可切割颗粒含量≥55％，大颗粒含量0.35％。本发明SiC砂子检测方法，对微分分布进行表征，控制了SiC砂子的质量，由砂子引起的合格率波动值由8％降低至2％。 | ||
| 搜索关键词： | sic 砂子 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种SiC砂子检测方法，其特征是：将SiC砂子粒度划分为3个区域：小颗粒区域粒径范围为1～5.53um，可切割颗粒区域粒径范围为8.21～12.18um，大颗粒区域粒径范围为23.52～34um，规定小颗粒含量≤3.00％，可切割颗粒含量≥55％，大颗粒含量0.35％。
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