[发明专利]微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器无效
| 申请号： | 201010239107.3 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101907690A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 雷冲;周勇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01R33/04 | 分类号： | G01R33/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于微机电技术的微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺保护膜与非晶磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接电极。本发明解决了传统磁通门传感器制造稳定性、重复性差的问题，采用高性能非晶磁芯提高了微型磁通门传感器性能，全尺寸小于1cm×1cm，制造工艺兼容大规模集成电路工艺，可以和接口电路集成制造，在许多新的领域具有广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 化非晶软磁 合金 螺线管 磁通门 传感器 | ||
【主权项】：
一种微型化非晶软磁合金磁芯螺线管磁通门传感器，其特征在于，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、非晶磁芯、电极、聚酰亚胺保护膜，非晶磁芯上对称绕制两组相连的三维螺线管激励线圈，与激励线圈垂直绕制一组三维螺线管感应线圈，激励线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺保护膜与非晶磁芯绝缘隔离，激励线圈和感应线圈均位于衬底上，激励线圈和感应线圈两端都连接电极。
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