[发明专利]一种用石英砂法制备四氟化硅的方法

摘要

本发明公开了一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其原料包括金属氟化物和二氧化硅，通过第一步是先将金属氟化物煅烧活化，活化金属氟化物与浓硫酸反应得到氟化氢气体，氟化氢气体经洗涤和冷却得到氟化氢液体，同时将二氧化硅与硫酸混合为二氧化硅预混浆料，第二步是将氟化氢液体、二氧化硅预混浆料与硫酸混合反应得到四氟化硅气体；本发明是一种原料转化率高，产品纯度高，杂质少，反应过程易控制的用石英砂法制备四氟化硅的方法。

主权项

一种用石英砂法制备四氟化硅的方法，其原料包括金属氟化物和二氧化硅，其特征在于包括下述步骤：1)在炉温为300～400℃条件下，将金属氟化物在煅烧炉中煅烧活化2～10分钟，得到活化金属氟化物；2)将上述活化金属氟化物放入氟化氢反应炉中，加入重量百分浓度不低于95％的浓硫酸，所述浓硫酸与所述金属氟化物的摩尔比为1～3∶1，反应1～5分钟得到氟化氢气体；3)将上述氟化氢气体，先在洗涤塔用重量百分浓度不低于95％的浓硫酸洗涤，再在冷凝器中冷却为 8℃的氟化氢液体；4)将二氧化硅和重量百分浓度为80～90％的硫酸，按重量比1∶4～19预混，制成二氧化硅预混浆料；5)将上述二氧化硅预混浆料和氟化氢液体与重量百分浓度为80～90％的硫酸，按重量比3∶4∶25的比例，放入四氟化硅反应器中，在60～90℃条件下，反应1.5～2.5小时，得到四氟化硅气体；6)将上述四氟化硅气体在洗涤塔用重量百分浓度80～90％的硫酸洗涤，洗涤后压缩储存该四氟化硅气体。