[发明专利]一种氧化锌透明导电薄膜及其制造方法有效
| 申请号： | 201010241752.9 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102251277A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王钢;王孟源;童存声;雷秀铮;江灏 | 申请（专利权）人： | 中山大学佛山研究院;佛山市中昊光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/16;C30B33/02 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 赵彦雄 |
| 地址： | 528222 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锌透明导电膜及其制造方法。该氧化锌透明导电膜包括顺序附着在衬底材料一侧表面的ZnO成核层、ZnO主体层和圆冠纳米柱状ZnO层；圆冠纳米柱状ZnO层具有若干的圆冠纳米柱状表面；所述圆冠纳米柱状ZnO层之圆冠的跨度为10至1000nm，圆冠顶部距ZnO主体层10至600nm。该制造方法包括如下步骤：生长衬底预处理；预沉积；ZnO成核层生长；ZnO主体层生长；圆冠纳米柱状ZnO层生长。采用本发明氧化锌透明导电膜的制造方法得到的ZnOTCL，除了能满足优良的导电和透明特性外，还能精准控制生长质量和控制形貌，具有光子晶体特性的表面形貌，对光学的萃取效率更高；能极大的提高LED外量子效率，促进LED行业的长足发展，有利于实现环保节能、可持续发展的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 透明 导电 薄膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌透明导电膜，其包括顺序附着在衬底材料一侧表面的ZnO成核层和ZnO主体层，其特征在于，所述氧化锌透明导电膜还包括圆冠纳米柱状ZnO层，所述圆冠纳米柱状ZnO层附着在所述ZnO主体层外侧表面；所述圆冠纳米柱状ZnO层之圆冠的跨度距离为10至1000nm，圆冠顶部距ZnO主体层10至600nm。
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