[发明专利]嵌入式化学机械抛光用的保持环无效
| 申请号： | 201010242004.2 | 申请日： | 2010-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN101934495A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 路新春;梅赫赓;沈攀;何永勇;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 朱印康 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械抛光设备技术领域，特别是一种嵌入式化学机械抛光用的保持环，刚性环为轴向截面是矩形或正方形的圆环，弹性环上表面的环形凹槽与刚性环直径相同，轴向截面的形状和大小都相同，采用嵌入式粘接的方式将保持环的刚性环嵌入弹性环的环形凹槽内，并用粘接剂粘接。本发明的优点在于不仅增加了粘接面积，提高了粘接强度，而且由于粘接剂填埋在环形凹槽内，粘接缝不在保持环的侧面，使用时避免了与外界的去离子水、抛光液等化学物质直接接触，防止对粘接剂的腐蚀，延长了保持环的使用寿命。本发明安装在化学机械抛光设备的抛光头上，起着容纳和定位晶圆的作用，适用于化学机械抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌入式 化学 机械抛光 保持 | ||
【主权项】：
一种嵌入式化学机械抛光用的保持环，其特征在于，嵌入式化学机械抛光用的保持环由刚性环(4)和弹性环(5)用粘接剂(2)粘接而成，刚性环(4)为轴向截面是矩形或正方形的圆环，刚性环(4)的上表面有定位孔和螺纹孔，弹性环(5)的上表面上有一个环形凹槽，环形凹槽与刚性环(4)直径相同，轴向截面的形状和大小都相同，刚性环(4)镶嵌在弹性环(5)的环形凹槽内，刚性环(4)与环形凹槽的三组接触面，即刚性环(4)的内表面与环形凹槽的内侧面，刚性环(4)的外表面与环形凹槽的外侧面，刚性环(4)的下表面与环形凹槽的底面，均用粘接剂(2)粘接。
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