[发明专利]微机电陀螺及用于控制微机电陀螺的方法有效
| 申请号： | 201010242008.0 | 申请日： | 2010-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101922934A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | L·普兰迪;C·卡米纳达 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;唐文静 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明公开了具有位置控制驱动的微机电陀螺及用于控制微机电陀螺的方法。该MEMS陀螺包括：微结构(2)，该微结构具有固定结构(6)、可以相对于该固定结构(6)以第一自由度按照驱动轴(X)运动的驱动质量块(7)、以及检测质量块(8)，所述检测质量块(8)与该驱动质量块(7)机械耦合，以便被带入按照该驱动轴(X)的运动，并且所述检测质量块(8)可以响应于该微结构(2)的旋转、相对于该驱动质量块(7)以第二自由度按照检测轴(Y)运动；以及驱动装置(3)，用于保持该驱动质量块(7)以驱动频率(ωD)进行振动。该驱动装置包括用于探测驱动质量块(7)相对于该驱动轴(X)的位置(x)的离散时间检测接口(20)；以及用于根据该驱动质量块(7)的位置(x)来控制该驱动频率(ωD)的控制装置(21，23，24，25)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 陀螺 用于 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电陀螺，包括：微结构(2；202)，其具有：固定结构(6)；可以相对于所述固定结构(6)以第一自由度按照驱动轴(X)运动的驱动质量块(7)；以及检测质量块(8)，所述检测质量块(8)与所述驱动质量块(7)机械耦合以便被带入按照所述驱动轴(X)的运动，并且可以响应于所述微结构(2；202)的旋转相对于所述驱动质量块(7)以第二自由度按照检测轴(Y)运动；驱动装置(3；103)，其与所述微结构(2；202)一直构成微机电环(18)，用于将所述驱动质量块(7)保持在以驱动频率(ωD)按照驱动轴(X)进行振动；其特征在于，所述驱动装置(3)包括耦合至所述微结构(2；202)并用于探测驱动质量块(7)相对于所述驱动轴(X)的位置(x)的离散时间检测接口(20)，以及用于根据由所述检测接口(20)所探测的所述驱动质量块(7)的位置(x)来控制所述微机电环(18)的振动振幅的控制装置(21，23，24，25)。
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