[发明专利]基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于超临界二氧化碳微乳液的干燥装置及方法，利用液态二氧化碳置换水基清洗液，然后加入表面活性剂并加热二氧化碳使其达到超临界态对光刻胶或MEMS中的微结构等进行干燥。该方法由于避免了气液界面的产生和防止了表面张力的作用，可以对高深宽比或多孔结构等进行清洗和干燥而没有损伤。与目前超临界二氧化碳干燥方法相比，该方法不需使用有机溶液，因此不会对光刻胶等造成破坏；而且干燥时间大大降低，可以有效防止图形塌陷的问题。该方法符合国际半导体技术蓝图中有关减少有机溶液消耗和节约能源等要求，并且易与目前的IC工艺兼容。

主权项

一种基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置，其特征在于，包括：装有表面活性剂的储液罐(1)和提供高纯二氧化碳的储气罐(2)，二者分别通过第二增压泵(3)和第一增压泵(4)连接于电磁阀(5)，电磁阀(5)的另一端连接于反应腔室(6)的入口；反应腔室(6)的一个出口管路上通过第一手动阀(9)连接于观察视窗(10)，另一个出口管路上通过第一膨胀阀(19)连接于第二热交换器(18)；观察视窗(10)的出口连接于第一分离器(13)，在观察视窗(10)与第一分离器(13)的连接管路上接有一个第二膨胀阀(11)和第一热交换器(12)；第一分离器(13)的出口连接于第一过滤纯化装置(15)，第一过滤纯化装置(15)通过第三增压泵(23)和第四热交换器(24)连接于反应腔室(6)；第二热交换器(18)的出口连接于第三分离器(17)，第三分离器(17)依次通过第三热交换器(21)、第二分离器(20)、冷却装置(22)、第三增压泵(23)和第四热交换器(24)连接于反应腔室(6)；第二分离器(20)的一个出口通过第四手动阀(25)和第二过滤纯化装置(26)连接于表面活性剂储罐(1)。