[发明专利]具有高精确度和高灵敏度的低压传感器装置有效
| 申请号： | 201010242685.2 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101988859A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 邱稔欢;陈旭辉 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 具有高精确度和高灵敏度的低压传感器装置。在由具有嵌入的压阻换能器的硅膜形成的低压传感器装置中，压力非线性利用在超薄膜上的浅凸台或薄刚性构件而降低，同时装置的压力灵敏度由于角部槽而提高。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 精确度 灵敏度 低压 传感器 装置 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，包括：硅膜(膜)，具有在大约1微米和大约10微米之间的第一厚度，且具有在其内形成的压阻元件；以及膜刚性构件，具有在大约1微米和20微米之间的第二厚度，所述膜刚性构件附连到所述膜且靠近所述膜的中心设置。
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