[发明专利]一种同轴双远心成像光学系统有效
| 申请号： | 201010242686.7 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102346291A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨晓青;徐兵;蔡巍;陈跃飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/22 | 分类号： | G02B13/22;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种同轴双远心成像光学系统，包括同轴照明系统、成像系统和挡光元件，前组物镜组和分束元件为同轴照明系统和成像系统所共用，光源、照明物镜组、分束元件和前组物镜组组成同轴照明系统，上述同轴照明系统和挡光元件构成柯勒照明系统，为物面提供均匀性很好的照明；前组物镜组、分束元件、后组物镜组和挡光元件构成小畸变高倍率双远心成像系统。本发明可以得到很高的照明均匀性，使成像图像有好的对比度，最终提高整个系统的测量精度。同时结构简单，减少了系统的成本和实现难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同轴 双远心 成像 光学系统 | ||
【主权项】：
一种同轴双远心成像光学系统，包括同轴照明系统、成像系统和挡光元件，其特征在于所述同轴照明系统从光源至物面方向沿光轴依次包括光源、照明物镜组、分束元件和前组物镜组，所述成像系统从物面至像面方向沿光轴依次包括所述前组物镜组、所述分束元件和后组物镜组，所述挡光元件用于限制所述同轴照明系统和所述成像系统光束的大小，所述同轴照明系统和所述挡光元件构成柯勒照明系统，所述成像系统和所述挡光元件构成双远心成像系统。
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