[发明专利]一种滑动和旋转轴用密封组件无效
| 申请号： | 201010242937.1 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102345107A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;孙勇;袁卫华 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机的定向台用的滑动和旋转轴密封组件，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：本发明采用一个阶梯状的升降旋转轴，两个密封座盖，两个上密封座，上密封座和密封座间的两个O型圈，一个密封座，一个密封卡套接头，两个抱轴且带自润滑特性的轴套，两个唇形密封圈，一个端面密封用O型圈。所述的密封组件的阶梯滑动旋转轴是的阶梯状的，它上有多个阶梯，所述的密封座压盖用于压盖住唇形密封圈，上密封座上留有安装唇形密封圈的槽，上密封座安装密封座的两端，两者面间密封是O型圈，在密封座和上密封座的分界面有加强密封和润滑的抱轴轴套，密封座上的轴孔大于升降和旋转轴的轴径0.5mm，座上横向开有孔通向轴孔，横向孔连接有卡套接头，用于真空抽气。本发明原理简单，采用的标准件市场易购，滑动和旋转密封的漏气率微小，结构耐用可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滑动 旋转轴 密封 组件 | ||
【主权项】：
一种滑动和旋转轴用密封组件，由一个阶梯状的升降旋转轴，两个密封座盖，两个上密封座，两个上密封座和密封座间的O型圈，一个密封座，一个密封抽气的卡套接头，两个抱轴且带自润滑特性的轴套，两个唇形密封圈，一个端面密封用O型圈组成。其中所述的升降旋转轴是阶梯状的。
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