[发明专利]离子注入机专用300KEV能量探头无效
| 申请号： | 201010243047.2 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102345108A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 孙雪平;唐景庭;伍三忠;孙勇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 离子注入机专用300KEV能量探头，包括：1、绝缘筒1，2、PCB板2，3、安装底座3，4、绝缘端盖4，并对能量探头工作原理进行了说明和给出装配图。并给出了具体的实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 专用 300 kev 能量 探头 | ||
【主权项】：
离子注入机专用300KEV能量探头，主要包括：1、绝缘筒1，2、PCB板2，3、安装底座3，4、绝缘端盖4。其特征在于：1.所说的离子注入机专用300KEV能量探头所测量能量范围为0～300KEV，对应的输出电压为0～10VDC。
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