[发明专利]一种大角度离子注入机快速调束的优化算法有效
| 申请号： | 201010243066.5 | 申请日： | 2010-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102347193A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王迪平;唐景庭;伍三忠;孙勇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;G06F17/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大角度离子注入机快速调束的优化算法，束流优化算法使用部分：黄金搜索算法和扫描检测算法。本发明最大特点是大角度离子注入机在运行自动调束功能时，在极短的时间内能够调节出束流并能进行优化调束，工艺数据能实时处理，最终获取高品质束流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 角度 离子 注入 快速 优化 算法 | ||
【主权项】：
一种大角度离子注入机包括：一长寿命气固两用离子源、一源磁场磁铁、一三维(X/Y/Z)自动调整系统、一引出抑制电极、一预分析磁场磁铁、一聚焦电极、一加速管、一分析磁场磁铁、一可变旋转分析缝、一对称双电极扫描板、一固定法拉第杯、一平行透镜磁铁、一离子束、一靶室晶片处理系统，其特征在于：在快速调束程序中设计到对它们各个参数的快速优化，快速调束的优化算法包括：黄金搜索算法和扫描检测算法。黄金搜索算法主要用来调节三维(X/Y/Z)自动调整系统中的引出电极X轴，引出电极Y轴，源磁场磁铁的磁场电流，聚焦电极的聚焦电压，三维(X/Y/Z)自动调整系统中的引出电极Z轴，引出抑制电极的引出抑制电压。扫描检测算法主要用来调节预分析磁场磁铁的磁场强度，分析磁场磁铁的磁场强度和平行透镜磁铁的磁场强度(高斯值)。
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