[发明专利]键合头装置有效

专利信息
申请号: 201010243239.3 申请日: 2010-08-02
公开(公告)号: CN102343476A 公开(公告)日: 2012-02-08
发明(设计)人: 纪伟;任绍彬;刘严庆 申请(专利权)人: 北京中电科电子装备有限公司
主分类号: B23K20/10 分类号: B23K20/10;B23K20/26
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静
地址: 100176 北京市北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种键合头装置,涉及一种制造固体器件的设备,包括:运动主体单元和用于提供超声能量的换能器(23),所述运动主体单元包括:换能器夹块(1)、上摆臂(2)、键合头定块(3)、下摆臂(4)和多个转轴(5),其中,所述键合头定块(3)与工作台连接;所述换能器夹块(1)固定所述换能器(23),带动所述换能器(23)运动,所述换能器夹块(1)、所述上摆臂(2)、所述键合头定块(3)、所述下摆臂(4)通过所述多个转轴(5)连接成矩形结构,所述换能器夹块(1)相对于所述键合头定块(3)运动时处于竖直状态。可保证键合头键合时劈刀能完全垂直于键合面,提高键合质量。
搜索关键词: 键合头 装置
【主权项】:
一种键合头装置,其特征在于,包括:运动主体单元和用于提供超声能量的换能器(23),所述运动主体单元包括:换能器夹块(1)、上摆臂(2)、键合头定块(3)、下摆臂(4)、多个转轴(5)和劈刀(30),其中,所述键合头定块(3)与工作台连接;所述换能器夹块(1)、所述上摆臂(2)、所述键合头定块(3)、所述下摆臂(4)通过所述多个转轴(5)连接成矩形结构,所述换能器夹块(1)相对于所述键合头定块(3)运动时处于竖直状态;所述劈刀(30)固定连接在所述换能器(23)上,所述换能器(23)固定连接在换能器夹块(1),所述换能器夹块(1)在相对于所述键合头定块(3)运动时,劈刀(30)处于竖直状态。
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