[发明专利]重量测定装置、液滴喷出装置及重量测定方法

摘要

本发明提供能够精度良好地测定被测定物的重量的重量测定装置、液滴喷出装置及重量测定方法。该装置涉及测定在托盘(45)上配置的功能液(38)的重量的重量测定装置(25)。该装置具备覆盖托盘(45)的上部空间的独立防风罩(47)及整体防风罩(48)，独立防风罩(47)及整体防风罩(48)分别具备遮挡从侧面方向流动的气流的横向风防止部(47a)、横向风防止部(48a)。还有，该装置具备使独立防风罩(47)及整体防风罩(48)、和托盘(45)在远离的方向上相对移动的防风罩驱动装置(28)。

主权项

一种液滴喷出装置，对工件喷出液状体来进行描绘，其特征在于，具备：液滴喷出头，其喷出所述液状体；导轨，其沿Y方向延伸；载物台，其沿所述导轨在所述Y方向上扫描，并且载置所述工件；和保养载物台，其位于所述导轨上，并且沿所述导轨移动；在所述保养载物台上，具备测定从所述液滴喷出头喷出的液状体的重量的重量测定装置，通过所述保养载物台沿着所述导轨移动，从而所述重量测定装置能够配置在与所述液滴喷出头对置的位置。