[发明专利]偏心测定装置、偏心测定方法、光学元件及其阵列和单元无效
申请号: | 201010244039.X | 申请日: | 2010-07-30 |
公开(公告)号: | CN101988822A | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
发明(设计)人: | 重光学道;花户宏之 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;G01M11/02;G02B3/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王岳;王忠忠 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及偏心测定装置、偏心测定方法、光学元件及其阵列和单元。为了实现一种可整批地测定所有光学元件而不需要将构成光学元件阵列的各光学元件单片化,同时以简单且小规模的装置构成便可实现的偏心测定装置等,偏心测定装置包括作为两侧远心光学系统的元件成像光学系统。元件成像光学系统通过所射入的透射光使透镜的两面分别成像。偏心测定装置根据使透镜的第1面成像所得的第1透射像、及使透镜的第2面成像所得的第2透射像的对比度,可测定出透镜的偏心量。 | ||
搜索关键词: | 偏心 测定 装置 方法 光学 元件 及其 阵列 单元 | ||
【主权项】:
一种偏心测定装置,利用射入到光学元件的光穿透该光学元件所得的透射光,可测定出该光学元件的偏心量,其特征在于:包括作为物体侧远心光学系统或两侧远心光学系统的元件成像光学系统,所述元件成像光学系统通过射入的所述透射光使所述光学元件的两面分别成像,根据使所述光学元件的两面分别成像所得的第1及第2透射像的对比度,可测定出该光学元件的偏心量。
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