[发明专利]一种基于双驱双桥换台工位的双工件台高精度交换装置

摘要

一种基于双驱双桥换台工位的双工件台高精度交换装置属于半导体制造装备技术，该装置增加了一个具有双驱双桥结构的换台工位，两组双驱桥式结构分别由两根U型槽式直线电机定子和静压气浮导轨对称配置构成；双驱双桥换台工位结构，使X方向和Y方向气浮导轨均变成短导轨形式，可明显减小被驱动体的体积和惯量，有利于提高起、停驱动速度，缩短响应时间和定位稳定时间；硅片台的长行程直线运动单元在X方向和Y方向上都采用了严格平行对称布置的双直线电机同步驱动形式，驱动力过硅片台质心，有效减小了硅片台的惯性转矩扰动，提高了系统稳定性和可靠性，为实现系统的动态和静态定位精度提供了可靠的保障。

主权项

一种基于双驱双桥换台工位的双工件台高精度交换装置，该装置包括曝光工位(2)和预处理工位(3)，其曝光工位(2)和预处理工位(3)的机械结构包括在基台(1)左右侧部上对称配置的硅片台(4)、由Y向U型槽式第一直线电机(5a)和Y向U型槽式第二直线电机(5b)以及Y向静压气浮导轨(5c)构成的两个Y向长行程直线运动单元(5)、由X向U型槽式第一直线电机(6a)、X向U型槽式第二直线电机(6b)、X向静压气浮导轨(6c)以及Y向长行程直线运动单元承载梁(6d)构成的两个X向长行程直线运动单元(6)，左右侧部的硅片台(4)可滑动地分别配装在左右侧部的Y向长行程直线运动单元(5)上，两个X向长行程直线运动单元(6)分别与左右侧的Y向长行程直线运动单元(5)成H型配置；其特征在于：在曝光工位(2)和预处理工位(3)之间增加了一个具有双驱双桥结构的换台工位(7)，换台工位(7)上的两组双驱桥式结构分别由两根U型槽式直线电机定子(7a、7b)和换台工位静压气浮导轨(7c)对称配置构成；Y向U型槽式第一直线电机(5a)和Y向U型槽式第二直线电机(5b)结构、功率全部相同；X向U型槽式第一直线电机(6a)和X向U型槽式第二直线电机(6b)结构、功率全部相同；X向U型槽式第一直线电机(6a)安装在基台表面，X向U型槽式第二直线电机(6b)内嵌于基台表面。