[发明专利]有机发光面板的制造装置及有机发光面板的制造方法

摘要

本发明提供一种在元件基板与密封基板贴合时气泡不会混入到元件基板与密封基板之间且元件基板与密封基板之间不会产生错位的有机发光面板的制造装置及有机发光面板的制造方法。密闭下侧真空容器(1)及上侧真空容器(2)，使第一空间和第二空间成为真空，使密封基板(3)上升而与元件基板(4)接触，向第一空间导入大气压或大气压以上的气体，使第一空间与第二空间之间产生的压力差经由隔板(8)作用于元件基板(4)，从而使元件基板(4)与密封基板(3)压接。

主权项

一种有机发光面板的制造装置，通过使单一或多个区域上设有有机发光元件的元件基板和与有机发光元件相对应的区域上配置有密封材料的密封基板在真空减压下贴合，来密封所述有机发光元件，所述有机发光面板的制造装置的特征在于，具备：下侧真空容器；上侧真空容器，其能够开闭地安装于所述下侧真空容器；弹性体的板，其设置在所述上侧真空容器的开口部；密封基板用托座，其是在所述下侧真空容器内以所述密封材料为上侧而限制所述密封基板的位置的托座。元件基板用托座，其是以所述有机发光元件为下侧而在所述密封基板的上方隔开所述元件基板与所述密封基板并限制所述元件基板与所述密封基板的相对位置的托座；升降工作台，其从下侧吸附固定所述密封基板且能够升降；吸排气机构，其能够分别对由所述板分隔的所述上侧真空容器内的第一空间及所述下侧真空容器内的第二空间的气体进行吸气排气；控制机构，其以如下方式进行控制：密闭所述下侧真空容器及所述上侧真空容器，使所述第一空间和所述第二空间成为真空，使所述升降工作台上升而使所述密封基板与所述元件基板接触，向所述第一空间导入大气压或大气压以上的气体，使所述第一空间与所述第二空间之间产生的压力差经由所述板作用于所述元件基板，从而使所述元件基板与所述密封基板压接。